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        白光干涉薄膜厚度測量儀Delta

        產品特點

        快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高

        應用案例

        應用領域

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        半導體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)???????? LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)????????????? LED (SiO2、光刻膠ITO等)


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        觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)??????????????????????????? 汽車(防霧層、Hard Coating DLC等)????????????????????????? ? 醫學(聚對二甲苯涂層球囊/導尿管壁厚藥膜等)

        技術參數

        型號

        Delta-VIS

        Delta-DUV

        Delta-NIR

        波長范圍

        380-1050nm

        190-1100nm

        900-1700nm

        厚度范圍

        50nm-40um

        1nm-30um

        10um-3mm

        準確度1

        2nm

        1nm

        10nm

        精度

        0.2nm

        0.2nm

        3nm

        入射角

        90°

        90°

        90°

        樣品材料

        透明或半透明

        透明或半透明

        透明或半透明

        測量模式

        反射/透射

        反射/透射

        反射/透射

        光斑尺寸2

        2mm

        2mm

        2mm

        是否能在線

        掃描選擇

        XY可選

        XY可選

        XY可選

        注:1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

        2.?可選微光斑附件。


        尊敬的客戶您好,

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